Investigation of Electrical Transport in PECVD grown a SiCx H Thin Film


ÖZDEMİR O., BOZKURT K., KUTLU K.

21st European Conference on Diamond, Diamond- Like Materials, Carbon Nanotubes, and Nitrides, 5 - 09 Eylül 2010

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet