Investigation of PECVD Grown Hydrogenated Amorphous Silicon Nitride film Through DLTS Measurement


ÖZDEMİR O.

Balkan Physics Letter, cilt.16, 2009 (Hakemli Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 16
  • Basım Tarihi: 2009
  • Dergi Adı: Balkan Physics Letter
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet