Unbalanced Magnetron Sputtering von Titannitrid: Einfluß des Ionnenbombardements auf Struktur und Eigenschaften

Keleşoğlu E., Losbichler P., Mitterer C.

Werkstoffverfahrenstechnik, Frankfurt, Almanya, 01 Ocak 1997, ss.805-810, (Tam Metin Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Frankfurt
  • Basıldığı Ülke: Almanya
  • Sayfa Sayıları: ss.805-810
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet