Unbalanced Magnetron Sputtering von Titannitrid: Einfluß des Ionnenbombardements auf Struktur und Eigenschaften

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Keleşoğlu E. , Losbichler P., Mitterer C.

Werkstoffverfahrenstechnik, Frankfurt, Germany, 01 January 1997, pp.805-810

• Publication Type: Conference Paper / Full Text
• City: Frankfurt
• Country: Germany
• Page Numbers: pp.805-810