Unbalanced Magnetron Sputtering von Titannitrid: Einfluß des Ionnenbombardements auf Struktur und Eigenschaften


Keleşoğlu E. , Losbichler P., Mitterer C.

Werkstoffverfahrenstechnik, Frankfurt, Germany, 01 January 1997, pp.805-810

  • Publication Type: Conference Paper / Full Text
  • City: Frankfurt
  • Country: Germany
  • Page Numbers: pp.805-810