Aufbau und Eigenschaften nichtreaktiv aufgestaubter TiN-Schichten


Keleşoğlu E.

Berg- und Hüttenmännische Monatsheften, vol.141, no.3, pp.129-135, 1996 (International Refereed University Journal)

  • Publication Type: Article / Article
  • Volume: 141 Issue: 3
  • Publication Date: 1996
  • Title of Journal : Berg- und Hüttenmännische Monatsheften
  • Page Numbers: pp.129-135