Aufbau und Eigenschaften nichtreaktiv aufgestaubter TiN-Schichten

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Keleşoğlu E.

Berg- und Hüttenmännische Monatsheften, vol.141, no.3, pp.129-135, 1996 (Peer-Reviewed Journal)

• Publication Type: Article / Article
• Volume: 141 Issue: 3
• Publication Date: 1996
• Journal Name: Berg- und Hüttenmännische Monatsheften
• Page Numbers: pp.129-135
• Yıldız Technical University Affiliated: Yes