Aufbau und Eigenschaften nichtreaktiv aufgestaubter TiN-Schichten
Berg- und Hüttenmännische Monatsheften, vol.141, no.3, pp.129-135, 1996 (Peer-Reviewed Journal)
- Publication Type: Article / Article
- Volume: 141 Issue: 3
- Publication Date: 1996
- Journal Name: Berg- und Hüttenmännische Monatsheften
- Page Numbers: pp.129-135
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