NANODOT EXPOSURE IN DIFFERENT SIZE WITH USING ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY

Kuruoğlu F., Yavuzçetin Ö., Erol A., Çalışkan M., Serin M.

Turkish Physical Society 32nd International Physics Congres, Muğla, Türkiye, 6 - 09 Eylül 2016

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Basıldığı Şehir: Muğla
  • Basıldığı Ülke: Türkiye
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet