Effect of Silane - Methane Plasma Compositions on the Physical Properties of a-Si1-xCx:H Alloy

Serin M., Akat E., Ugur S.

Balkan Physics Letters, cilt.10, sa.1, ss.31-37, 2002 (Hakemli Dergi)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 10 Sayı: 1
  • Basım Tarihi: 2002
  • Dergi Adı: Balkan Physics Letters
  • Sayfa Sayıları: ss.31-37
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet