Effect of heat treatment on stress and structure evolution in plasma deposited boron nitride thin films

Anutgan M., ÖZDEMİR O., Atılgan İ., Katırcıoğlu B.

Surface and Coating Technology, cilt.202, sa.13, ss.3058-3066, 2008 (SCI-Expanded)

  • Yayın Türü: Makale / Tam Makale
  • Cilt numarası: 202 Sayı: 13
  • Basım Tarihi: 2008
  • Dergi Adı: Surface and Coating Technology
  • Derginin Tarandığı İndeksler: Science Citation Index Expanded (SCI-EXPANDED)
  • Sayfa Sayıları: ss.3058-3066
  • Yıldız Teknik Üniversitesi Adresli: Evet